表面粗糙度的檢測方法
發(fā)布時間：2016-09-21 03:04:19 點擊量：899
表面粗糙度的檢測方法有比較測量法、非接觸測量法、接觸測量法和模法：
比較法是將被測表面與已知其評定參數(shù)值的粗糙度樣板相比較，如被測表面較光滑時，可借肋于放大鏡、比較顯微鏡進(jìn)行比較，以提高檢測精度。比較樣板的選擇應(yīng) 使其材料、形狀和加方法與被測工件盡量相同。比較法簡便實用，適合于車間條件下判斷中、低精度的表面。比較法的判斷準(zhǔn)確程度在很大程度上與檢驗人員的技術(shù) 熟練程度有關(guān)。
非接觸測量法包括光切法、干涉法、激光反射法和激光全息法。光切法顯微鏡是利用“光切原理”測量表面粗糙度的方法。干涉法是干涉顯微鏡利用光波干涉原理在 被測表面上產(chǎn)生干涉條紋，通過測量表面干涉條紋的彎曲度，實現(xiàn)對表面粗糙度的測量。激光反射法是通過激光束以一定的角度照射到被測表面，通過觀測反射強弱 測出表面粗糙度。激光全息法的基本原理是以激光照射被測表面，利用相干輻射，拍攝被測表面的全息照片獲得一組表面輪廓的干涉圖形，然后用硅光電池測量黑白 條紋的強度分布，測出黑白條紋反差比，從而評定被測表面的粗糙度程度。
接觸測量法常用的是針描法。針描法是利用儀器的觸針在被測表面上輕輕劃過，被測表面的微觀不平輪廓將使觸針作垂直方向的位移。再通過傳感器將位移變化量轉(zhuǎn) 換成電量的變化，經(jīng)信號放大和積分計算后，在顯示器上示出被測表面粗糙度的評定參數(shù)值。亦可由記錄器繪制出被測表面的微觀輪廓圖形。按針描法原理設(shè)計制造 的表面粗糙度測量儀器通常稱為輪廓儀。根據(jù)轉(zhuǎn)換原理的不同，可以有電感式輪廓儀、電容式輪廓儀、壓電式輪廓儀等。輪廓儀可測Ra、Rz、 Ry 、S、Sm及tp等多個參數(shù)。
印模法是用塑性材料將被測表面復(fù)制下來制成印模，再對印模進(jìn)行測量的間接方法。常用的印模材料有川蠟、石臘、塞璐珞、低熔點合金等。由于印模材料不可能完 全填滿被測表面的谷底，取下印模時又會使波峰被削平，因此印模的高度參數(shù)值通常比被測表面的高度參數(shù)實際值小，因此應(yīng)根據(jù)實驗結(jié)果進(jìn)行修正。印模法一般適 用于內(nèi)表面粗糙度的檢測。
比較法是將被測表面與已知其評定參數(shù)值的粗糙度樣板相比較，如被測表面較光滑時，可借肋于放大鏡、比較顯微鏡進(jìn)行比較，以提高檢測精度。比較樣板的選擇應(yīng) 使其材料、形狀和加方法與被測工件盡量相同。比較法簡便實用，適合于車間條件下判斷中、低精度的表面。比較法的判斷準(zhǔn)確程度在很大程度上與檢驗人員的技術(shù) 熟練程度有關(guān)。
非接觸測量法包括光切法、干涉法、激光反射法和激光全息法。光切法顯微鏡是利用“光切原理”測量表面粗糙度的方法。干涉法是干涉顯微鏡利用光波干涉原理在 被測表面上產(chǎn)生干涉條紋，通過測量表面干涉條紋的彎曲度，實現(xiàn)對表面粗糙度的測量。激光反射法是通過激光束以一定的角度照射到被測表面，通過觀測反射強弱 測出表面粗糙度。激光全息法的基本原理是以激光照射被測表面，利用相干輻射，拍攝被測表面的全息照片獲得一組表面輪廓的干涉圖形，然后用硅光電池測量黑白 條紋的強度分布，測出黑白條紋反差比，從而評定被測表面的粗糙度程度。
接觸測量法常用的是針描法。針描法是利用儀器的觸針在被測表面上輕輕劃過，被測表面的微觀不平輪廓將使觸針作垂直方向的位移。再通過傳感器將位移變化量轉(zhuǎn) 換成電量的變化，經(jīng)信號放大和積分計算后，在顯示器上示出被測表面粗糙度的評定參數(shù)值。亦可由記錄器繪制出被測表面的微觀輪廓圖形。按針描法原理設(shè)計制造 的表面粗糙度測量儀器通常稱為輪廓儀。根據(jù)轉(zhuǎn)換原理的不同，可以有電感式輪廓儀、電容式輪廓儀、壓電式輪廓儀等。輪廓儀可測Ra、Rz、 Ry 、S、Sm及tp等多個參數(shù)。
印模法是用塑性材料將被測表面復(fù)制下來制成印模，再對印模進(jìn)行測量的間接方法。常用的印模材料有川蠟、石臘、塞璐珞、低熔點合金等。由于印模材料不可能完 全填滿被測表面的谷底，取下印模時又會使波峰被削平，因此印模的高度參數(shù)值通常比被測表面的高度參數(shù)實際值小，因此應(yīng)根據(jù)實驗結(jié)果進(jìn)行修正。印模法一般適 用于內(nèi)表面粗糙度的檢測。
